La plate-forme ?Robotex de l’institut Femto-ST est un équipement, de tout premier plan au niveau international, qui constitue un pôle unique pour le développement de projets sur la manipulation et l’assemblage automatisé de micro/nano-composants dont les dimensions peuvent être inférieures à 10 ?m. L’accès à cette plate-forme est ouvert aux partenaires académiques et industriels pour leurs travaux de recherche et/ou de développement de micro/nanosystèmes.
Dans le cadre de l’Equipement d’Excellence "Equipec Robotex", financé par le Programme d’investissements d’avenir (PIA) et la Région Franche-Comté, l’Institut FEMTO- ST a acquis une installation constituée d’un MEB (Microscope Electronique à Balayage) et d’un FIB (Focused Ion Beam). Cette installation de 780 k€, dotée d’une chambre cylindrique aux dimensions hors normes (500 mm de diamètre x 300 mm de haut) accueillera divers systèmes micro/nanorobotiques développés par l’institut Femto-ST.
Localisée dans les locaux de l’Ensmm, au département AS2M (Automatique et Systèmes Micro-Mécatroniques) de l’Institut Femto-ST, l’installation est aujourd’hui opérationnelle et des premiers tests d’imagerie et d’utilisation du FIB ont été effectués avec succès. L’équipe de développement de cet équipement, constituée d’ingénieurs et d’enseignants-chercheurs spécialisés en micro/nano-robotique et en vision sous MEB, a mis en place un mode de fonctionnement favorisant, notamment, l’émergence de projets de transfert de la recherche vers l’industrie.
?Robotex permettra aux chercheurs et aux industriels francs-comtois d’explorer le nanomonde et contribuera à la réalisation des micro/nanosystèmes intelligents de demain.
